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中芯国际从荷兰ASML订购了一台EUV光刻机,美国为了防止我国窃取相关技术,导致荷兰政府迟迟没有下发出货许可证。荷兰ASML总裁公开发表言论,一方面认为我国具有良好的知识产权,并不会窃取相关技术,一方面认为凭借中国当前的技术,无法复刻顶级的光刻机。荷兰ASML总裁的话并非毫无道理,虽然尼康、佳能、ASML公司均能够生产光刻机,但是顶级光刻机已经被ASML公司所垄断。那么,造成这种结果的原因究竟是什么呢?
荷兰ASML公司创建于1984年,源于飞利浦的一个半导体设备制造商。这也就是说,荷兰ASML公司起步的技术实力并不低。荷兰ASML公司不仅起点高,对于科研领域的投入同样较为重视,是欧洲人均科研经费排名第二的公司。打铁虽然要求自身硬,但是没有外部的助力同样无法快速造就一家伟大的科技公司。
就在2012年的时候,荷兰ASML公司完成了对美国Cymer公司的收购,主要用于加快EUV的研发。至此,荷兰ASML公司在光刻机领域走上了快车道,甚至将尼康、佳能甩在了身后。这里较为关键的一点也无法忽略,那就是荷兰与美国之间的关系,否则怎么会轻易完成该收购!
荷兰ASML公司还有一个较为特殊的规定,但凡是合作伙伴必须入股。该公司的股东有英特尔、三星、台积电等,均是科技界的巨头公司,是不是比较吃惊呢?这样做对于荷兰ASML公司有很多好处,一个是研发资金的来源问题,其中仅英特尔一家就曾投资了25.13亿欧元;一个是解决了产品的销售问题,三星、台积电将会优先从荷兰ASML处供货。当然,现在荷兰ASML光刻机处于供不应求的局面,但是早期来说却解决了荷兰ASML的后顾之忧。
荷兰ASML光刻机的零部件有90%以上来自于全球各地,使用全球最顶端厂商的产品来打造自家的顶端光刻机。例如使用德国蔡司的镜头,据说该镜头是由祖传匠人专门打造,出货量同样极为有限;来自CYMER公司的光源,体积小、功率高、稳定性较强(现被ASML公司收购)。试想一下,暂且不说我国芯片领域的技术实力能否达到,光是这些零部件的购买都存在较大的问题。在美国的时刻关注下,高科技公司一不小心就会被加入实体清单,我国芯片自主研发的道路远比想象中要困难得多。
那么,我国与荷兰ASML公司之间的差距究竟有多大呢?
我国能够生产光刻机的企业,最先进的当属上海微电子装备公司,该公司最先进的SSX600系列光刻机能够实现90nm工艺制程,荷兰ASML光刻机当前支持的是5nm工艺制程。那么,是否可以购买荷兰ASML公司的光刻机来生产芯片呢?很不幸,中芯国际也遭到美国进出口限制。据最新的消息来看,中芯国际仅可以购买ASML公司DUV光刻机,无法购买更加先进的EUV光刻机。台积电已经断供华为,我国高端芯片生产陷入困局。
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